گازهای خالص صنعتی

گازهای صنعتی با خلوص بالا به طور معمول در مقادیر زیاد با خلوص بیش از 99.999٪ (بیش از 5 نه خالص) تحویل داده می شوند. سایر مواد کالایی، چه به صورت مایع یا جامد، معمولاً خلوص آنها از 99.9% بیشتر است. کاربردهای زیادی برای گازها وجود دارد که در آنها خلوص حتی بالاتر از 99.999٪ مورد نیاز است. برای خدمات رسانی به این کاربردها، فناوری تولید و تحویل گازهای با خلوص بالا به تجارتی چند میلیارد دلاری در سراسر جهان تبدیل شده است. ژاپن و ایالات متحده اکثریت بازار را در اختیار دارند.هیچ تعریف پذیرفته شده جهانی از اینکه چه سطوح خلوص با خلوص بالا مطابقت دارد وجود ندارد. یک تعریف خوب از خلوص بالا، گازهایی است که دارای ناخالصی های خاص در سطوح کمتر از 0.1 ppm هستند.

فناوری تولید و تحویل گازهای با خلوص بالا تا حد زیادی برای پشتیبانی از ساخت مواد نیمه هادی پیشرفته مورد نیاز به عنوان بخشی از فرآیند کلی تولید مدارهای مجتمع توسعه یافته است. الزامات خلوص در برخی از این مواد با کارایی بالا به جایی رسیده است که غلظت ناخالصی در گازهای شروع به میزان 1 قسمت در 1012 با کاهش بازده و عملکرد ضعیف در مدارهای مجتمع حاصل مرتبط است.

بسته به حجم، گازهای با خلوص بالا را می‌توان با استفاده از سیستم‌های حجیم، که در آن یک سیستم توزیع گسترده کارخانه با تأسیسات ذخیره‌سازی گاز مرکزی یکپارچه شده است، یا سیلندرها، که در آن یک سیستم توزیع محلی کوتاه از یک سیلندر فشار بالا تامین می‌شود، تحویل داد.

گازهای مورد استفاده در ساخت مواد نیمه هادی به سه بخش اصلی تقسیم می شوند: گازهای بی اثر که برای محافظت از فرآیندهای تولید و جلوگیری از ورود ناخالصی ها استفاده می شود. گازهای منبع، که برای تامین مولکول‌ها و اتم‌هایی که پشت سر می‌مانند و به محصول نهایی کمک می‌کنند، و گازهای واکنش‌دهنده، برای اصلاح مواد الکترونیکی بدون کمک واقعی اتم‌ها یا مولکول‌ها استفاده می‌شوند.

گازهای خالص (High Purity Gases)

گازهای خالص جهت مصارف آزمایشکاهی و تحقیقاتی در اکثر صنایع مانند: نفت، گاز و پتروشیمی، داروسازی، لیزر، صنایع غذایی، نیمه هادی ها، کرماتوگرافی گازی، اسپکترومتری اتمی و… کاربرد دارند. گازهای خالص با درجات خلوص مختلف ارائه می شوند و کمترین خلوص آن ها گرید 2.5 (%99.5) می باشد.

گازهای قابل ارئه با درجات خلوص مختلف به شرح زیر است: